产品名称：磁控溅射脉冲电源

产品型号：BIPS-50001.2E

 

      随着科学技术不断地发展，磁控溅射技术也得到了快速的发展，但在磁控溅射过程中，关键部分是脉冲磁控溅射电源，目前，脉冲磁控溅射电源

向大功率、高频化方向发展，由于开关电源的高频化使得开关电源的损耗增加，因此，我公司设计生产的大功率磁控溅射脉冲电源采用了移相式软开

关技术，大大降低了电源的开关损耗，提高了电源的效率，利用输出电流保护点设置的方法，是输出电流任意调节，实现了快速反应的过流保护。高

效和完善的保护措施是电源能长期可靠的运行保证，电源控制采用数字化设计，实现电源的本地控制和上位机智能化控制的目的。

      电源采用脉冲单元叠加技术,将5组相互独立的单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了5kV 的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量,满足

不同输出电压的需要,实现了模块化设计。

      该系列电源的指标为:
      脉冲电压幅值500V～5kV ,脉冲频率500Hz～50kHz ,脉冲占空比5%～90% ,脉冲电流幅值10～200A ,脉冲功率5～50kW。

1、单极性脉冲磁控溅射电源是在直流磁控溅射电源基础上增加单极性正脉斩波电路组合而成，消除了由于直流反应溅射出现的靶的污染、阳极

     消失、极间打火等问题。

2、该电源除具有直流磁控溅射电源的优点外，能明显改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高膜层质量，适用于金属、合金

     及石墨等靶材镀制纯金属膜，碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明显性改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高

     膜层质量。

3、输出电压为单极性脉冲，具有平均电流稳流功能。

4、该电源由多个相对独立的单元叠加而成,具有可靠性高、扩展性好等特点。

1、 型号：BIPS-50001.2E；

2、 额定功率：6kW；

3、 额定输入电压：3 AC380V±10%, 50Hz ；

4、 输出方式：脉冲；

5、 输出频率：5～20kHz ；

6、 脉冲电压幅值：1000～5000V（峰值）；

7、 平均电流：0～1.2A；

8、 输出脉冲周期：50～200uS；

9、 脉冲占空比：10～50% ；

10、冷却方式：风冷；

11、外形尺寸：435mm×264mm×554mm（宽×高×深）；

12、保护功能：具有过流、过压、过热等保护措施；

13、液晶屏的智能控制系统，任意设定输出脉冲电压幅值、脉冲周期时间及脉冲频率，以及各种工艺参数，具有在线可编程功能。